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日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本

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产品名称: 日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本
产品型号:
产品展商: SUNX
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简单介绍

日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本 因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。 晶圆间距 间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5) 适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒 电源电压 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下 日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本


日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本  的详细介绍

日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本
 检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度 12.5±5°(注4)
因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
 而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
使用环境温度 0〜+55℃(注意不可结露)、存储时:−10〜+70℃
使用环境湿度 35〜85%RH、存储时: 35〜85%RH
使用环境照明度 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 
利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。
日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本

消耗电流 65mA以下
输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护 装备(自动复位)
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。
以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。
M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

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沪公网安备 31011402005010号

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