介绍SUNX晶圆定位传感器，panasonic传感器安装位置

介绍SUNX晶圆定位传感器，panasonic传感器安装位置

电源电压 12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下
消耗电流 65mA以下
因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的*速反应
实现0.5ms的*速反应。兼顾*速反应性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置检测
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护 装备(自动复位)
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
基于2段受光元件的*精度位置检测
可从四个方向引出电缆
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。
可根据传感器的设置情况灵活调节。
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型
以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

介绍SUNX晶圆定位传感器，panasonic传感器安装位置