压力传感器是使用为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度*、温度特性*。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性*。
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